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涌淳半导体取得基于光学膜厚自校准薄膜厚度测量装置专利:光学薄膜
金融界2025年7月22日消息，国家知识产权局信息显示，涌淳半导体（无锡）有限公司取得一项名为“一种基于光学膜厚自校准的高稳定性薄膜厚度测量装置”的专利，授权公告号CN120063140B，申请日期为
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金融界2025年7月22日消息，国家知识产权局信息显示，涌淳半导体（无锡）有限公司取得一项名为“一种基于光学膜厚自校准的高稳定性薄膜厚度测量装置”的专利，授权公告号CN120063140B，申请日期为