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椭偏仪薄膜测量原理和方法：光学模型建立和仿真:光学薄膜
椭偏技术是一种非接触式、高精度、多参数等光学测量技术，是薄膜检测的最好手段光学薄膜。本文以椭圆偏振基本原理为基础，重点介绍了光学模型建立和仿真，为椭偏仪薄膜测量及误差修正提供一定的理论基础。费曼仪器
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椭偏技术是一种非接触式、高精度、多参数等光学测量技术，是薄膜检测的最好手段光学薄膜。本文以椭圆偏振基本原理为基础，重点介绍了光学模型建立和仿真，为椭偏仪薄膜测量及误差修正提供一定的理论基础。费曼仪器